In-situ Charakterisierung von PECVD Schichtspannungen in Korrelation mit der Abscheidetemperatur mittels Lasererfassungssystem

Ziel deiner Arbeit ist die Ermittlung der Schichtspannungen während eines Plasmabeschichtungsprozesses.

Innenbeschichtung einer PET-Flasche mittels PECVD | Bild: IKV

Thema der Arbeit:
Dünne Schichten haben das Potential Mehrstoffbarrieren in der Kunststofftechnik zu ersetzen. Damit können recyclingfähige Verpackungen realisiert werden. Bei der Abscheidung dünner Schichten mittels Plasmaprozessen entstehen u.a. Schichtspannungen, die die Eigenschaften der Schichten stark beeinflussen. Daher ist die Charakterisierung der Spannungen ein wichtiger Schritt zum Verständnis des mechanischen Verhaltens dünner Schichten auf Kunststoffsubstraten und zur Entwicklung umweltfreundlicher Verpackungen.

Die Arbeit hat Bezug zu diesem Forschungsprojekt:
Deine Arbeit wird im Rahmen des DFG geförderten SFB-TR87 „Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten“ durchgeführt und ist ein wichtiger Beitrag zur aktuellen Forschung.

Zielsetzung:
Ziel deiner Arbeit ist es, die Schichtspannungen während des PECVD Prozesses zu erfassen und diese in Abhängigkeit der Substrattemperatur mit den Prozessparametern zu korrelieren.

Deine Aufgabenstellung:

Für eine Bachelorarbeit bearbeitest du folgende Aufgabenstellungen

  • Erarbeitung des Standes der Technik
  • Aufbau des Lasermesssystems am Reaktor
  • Erarbeitung eines Versuchsplans
  • Auswertung, Interpretation und Korrelation der Ergebnisse

Für eine Masterarbeit bearbeitest du zusätzlich zu den oben stehenden Aufgaben Folgendes:

  • Erarbeitung einer Methode zur Erfassung der Schichtspannungen in Echtzeit
  • Überführung der Ergebnisse in ein geeignetes Simulationsmodell

Dein Profil

  • Du studierst Materialwissenschaften/Maschinenbau/Werkstoffingenieurwesen/Physik
  • Du hast Erfahrung und Interesse am experimentellen Arbeiten
  • Du möchtest dich in einem dynamischen Team in aktueller Forschung weiterentwickeln
  • Du bist motiviert und hast ein hohes Maß an Eigeninitiative
  • Idealer Weise hast du Erfahrung mit Lasermesstechnik (nicht zwingend)

Falls du Fragen oder bereits Interesse an dieser Abschlussarbeit am IKV hast, melde dich zeitnah bei mir. Gerne beantworte ich dir deine Fragen und führe dich durch unser Plasmalabor. Den genauen inhaltlichen Umfang und den Zeitplan stimmen wir individuell zu Beginn der Arbeit miteinander ab.

Dein Ansprechpartner am IKV:

Alexandra Kobow M.Eng.
Telefon: +49 241 80-28361
alexandra.kobow@ikv.rwth-aachen.de