Untersuchung zum Einsatz neuartiger Technologien im Bereich der plasmagestützten Verfahren

Ziel Deiner Arbeit wird es sein, die Technologie der PE-ALD und verwandte Formen der Prozessführung zu recherchieren und ihre Einführung in die Anlagentechnik am IKV vorzubereiten.

Plasmareaktor am IKV | Bild: IKV

Mikroskopieaufnahme einer PEALD-Beschichtung | Bild: IKV

Unsere Arbeitsgruppe für Plasma- und Oberflächentechnik am Institut für Kunststoffverarbeitung (IKV) blickt auf eine langjährige Historie im Bereich der Anlagen- und Prozessentwicklung von plasmagestützten Verfahren zurück. In einem stetig wachsenden Forschungsumfeld finden neuartige Technologien mit atemberaubender Geschwindigkeit Einzug in die moderne industrielle Praxis. Daher beschäftigen wir uns intensiv mit der Erforschung neuer Trends und finden passende Anwendungen für industrielle Herausforderungen.

Eine potenziell vielversprechende und vergleichsweise junge Technologie im Bereich der Beschichtungsverfahren ist die plasmagestützte Atomlagenabscheidung (PEALD), die bereits beispielsweise in der Herstellung von Mikroelektronik verwendet wird, um nanoskalige Transistoren zu beschichten. Ihre Eigenschaften möchten wir daher besser verstehen.

Ziel Deiner Arbeit wird es sein, die Technologie und verwandte Formen der Prozessführung zu recherchieren, um:

  • Potenziale und Herausforderungen in Abgrenzung zu vergleichbaren Verfahren aufzuzeigen und mit Hinblick auf konkrete Problemstellungen in der Praxis zu bewerten.
  • Handlungsmaßnahmen für die Einführung der Technologie am IKV zu formulieren und diese ggf. durch experimentelle Vorversuche zu evaluieren.

Für die Einarbeitung steht Dir erfahrenes Personal aus dem Bereich der Plasmatechnologien zur Seite, sodass sofort mit der Arbeit begonnen werden kann. Wenn Du Interesse daran hast, den Grundstein für die Neueinführung einer hochmodernen Technologie am IKV zu legen und damit neue Forschungsfelder zu erschließen, dann melde Dich bei mir.

Ansprechpartner
Philipp Alizadeh, M.Sc.
Telefon: +49 241 80-27319
E-Mail: philipp.alizadeh@ikv.rwth-aachen.de