Untersuchung des temperaturabhängigen Stofftransportes durch siliziumbasierte PECVD-Schichtsysteme auf Polyethylenterephthalat- und Polypropylenfolien
D. ten Bosch | Technisch-wissenschaftlicher Bericht | Schlagwörter: Precursorzufuhr, Schichtdicke, Schichtchemie, simulierte Gasverhältnisse | 141...